三氟化氮
发布时间：2021-09-08 15:33:25 浏览次数：3765
化 学 式：NF3
纯度规格：4N6
包 装：47L / 470L / Bundle / ISO
重 量：20kg / 200kg / 320kg / 4t / 6t / 8t
三氟化氮（NF3）的主要应用：
IC方面：由于作为半导体工业中气体清洗剂的全氟烃（PFC）对环境有害，近年来有逐渐被三氟化氮（NF3）取代之势。使用NF3作为化学蒸气沉积（CVD）箱清洗剂，与全氟烃相比，可减少污染物排放量约90%，且可显著提高清洗速度，从而可提高清洗设备能力约30%。
LCD方面：NF3还可用作蚀刻剂，也用于液晶显示器（LCD）的加工。为此，近年来NF3需求量急剧增长。
太阳能电池：NF3作为蚀刻和清洗气体也在太阳能电池制造行业广泛应用。
