近日，中国船舶集团第七一八研究所与中船派瑞特气股份公司联合申报的“集成电路用含氟高纯电子气体制备技术与产业”项目荣获中国技术市场协会金桥奖突出贡献项目奖。

        含氟高纯电子气体是芯片制造工艺过程中不可替代的关键材料，其合成、纯化、检测等生产工艺具有极高的技术难度和特殊要求，长期以来被外国垄断。“集成电路用含氟高纯电子气体制备技术与产业”项目攻克了含氟高纯电子气体合成、纯化、杂质检测和高效混配等关键技术难题，形成了含氟高纯电子气体国产化成套技术和装备，在国内率先实现规模化生产，三氟化氮、六氟化钨等高纯电子气体性能指标达到或超过国际同类产品，解决了含氟高纯电子气体核心技术问题，实现了国内产业链自主供应，为保障国家集成电路产业链安全提供了强有力的支撑，也因此荣获中国技术市场协会金桥奖突出贡献项目奖。

        背景知识：中国技术市场协会金桥奖由国家科学技术奖励工作办公室批准设立，旨在表彰奖励在技术市场建设、科技成果转化、促进科技进步和高新技术产业化工作中涌现的先进集体、个人和优秀转化项目。该奖项是经过国务院清理规范评比达标表彰工作联席会议审核后决定保留的奖项，是全国技术市场领域权威奖项，具有权威性和公正性。