高纯四氟化硅

发布时间:2021-09-08 11:29:44    浏览次数:617

式:SiF4

纯度规格:5N

   47L、440L

   量:30kg300kg


产品描述

公司承担国家科技02专项“高纯电子气体研发与产业化”项目,该项目涉及19种高纯电子气体和12种混合气体,公司负责完成六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢、四氟化硅及10种混合气体的研发和产业化。


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